金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

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何亮, 杜磊, 黄晓君, 陈华, 陈文豪, 孙鹏, 韩亮. 2012: 金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究, 物理学报, 61(20): 358-366.
引用本文: 何亮, 杜磊, 黄晓君, 陈华, 陈文豪, 孙鹏, 韩亮. 2012: 金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究, 物理学报, 61(20): 358-366.
2012: Non-Gaussian analysis of noise for metal interconnection electromigration, Acta Physica Sinica, 61(20): 358-366.
Citation: 2012: Non-Gaussian analysis of noise for metal interconnection electromigration, Acta Physica Sinica, 61(20): 358-366.

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

Non-Gaussian analysis of noise for metal interconnection electromigration

  • 摘要: 根据电子散射理论,多晶互连中,电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用.通过引入自由体积的概念,模拟了晶界处电子的散射过程,建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型.该模型表明,电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主,随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向非高斯性的突变,表明噪声产生机制发生了转变,并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征.最终,通过实验初步证明了理论结果的正确性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2012-10-30

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

  • 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071

摘要: 根据电子散射理论,多晶互连中,电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用.通过引入自由体积的概念,模拟了晶界处电子的散射过程,建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型.该模型表明,电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主,随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向非高斯性的突变,表明噪声产生机制发生了转变,并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征.最终,通过实验初步证明了理论结果的正确性.

English Abstract

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