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双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

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蒋相站, 刘永新, 毕振华, 陆文琪, 王友年. 2012: 双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究, 物理学报, 61(1): 276-282.
引用本文: 蒋相站, 刘永新, 毕振华, 陆文琪, 王友年. 2012: 双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究, 物理学报, 61(1): 276-282.
shu
2012: Radial density uniformity of dual frequency capacitively coupled plasma, Acta Physica Sinica, 61(1): 276-282.
Citation: 2012: Radial density uniformity of dual frequency capacitively coupled plasma, Acta Physica Sinica, 61(1): 276-282.
shu

双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

  • 大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024

  • 新疆工业高等专科学校,乌鲁木齐,830091

Radial density uniformity of dual frequency capacitively coupled plasma

  • 摘要: 利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.
    Abstract: The influences on dual frequency capacitively coupled plasma radial uniformity are studied with a newly developed complete floating double probe.It is found that low frequency power,discharge pressure and gap have significant effects on radial uniformity. The results show that a suitable low frequency power,discharge pressure and larger discharge gap can achieve more uniform plasma. Finally,the improved two-dimensional fluid model simulations are performed with the same discharge parameters in experiment.The radial ion density distributions are obtained for different discharge gaps.The results are almost consistent with each other.
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出版历程
  • 刊出日期:  2012-01-15

双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

  • 大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024
  • 新疆工业高等专科学校,乌鲁木齐,830091

摘要: 利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.

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