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具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

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关宝璐, 张敬兰, 任秀娟, 郭帅, 李硕, 揣东旭, 郭霞, 沈光地. 2011: 具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究, 物理学报, 60(3): 262-265.
引用本文: 关宝璐, 张敬兰, 任秀娟, 郭帅, 李硕, 揣东旭, 郭霞, 沈光地. 2011: 具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究, 物理学报, 60(3): 262-265.
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Guan Bao-Lu, Zhang Jing-Lan, Ren Xiu-Juan, Guo Shuai, Li Shuo, Chuai Dong-Xu, Guo Xia, Shen Guang-Di. 2011: Micro-nano-optical machine system tunable wavelength vertical cavity surface emitting lasers with wide tunable range, Acta Physica Sinica, 60(3): 262-265.
Citation: Guan Bao-Lu, Zhang Jing-Lan, Ren Xiu-Juan, Guo Shuai, Li Shuo, Chuai Dong-Xu, Guo Xia, Shen Guang-Di. 2011: Micro-nano-optical machine system tunable wavelength vertical cavity surface emitting lasers with wide tunable range, Acta Physica Sinica, 60(3): 262-265.
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具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

  • 北京工业大学,光电子技术省部共建教育部重点实验室,北京100124

Micro-nano-optical machine system tunable wavelength vertical cavity surface emitting lasers with wide tunable range

  • 摘要: 基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0 V增加到7 V时,对应激射波长将从968.8 nm蓝移到950 nm,整个调谐范围达到了18.8 nm,可调谐VCSEL器件表现出了优异的激光特性,并实现了波长连续可调.
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-03-30

具有宽调谐范围的微纳光机电系统可调谐垂直腔面发射激光器研究

  • 北京工业大学,光电子技术省部共建教育部重点实验室,北京100124

摘要: 基于微纳机械技术设计得到了可调谐垂直腔面发射激光器结构,将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统,并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合.其中,微纳光机电DBR结构不再是简单的分布布拉格反射镜,而是对光波具有高调制作用的可动微纳机械反射镜系统,并在静电力作用下可以动态调谐VCSEL谐振腔的激射波长.实验结果显示,当激光器调谐电压从0 V增加到7 V时,对应激射波长将从968.8 nm蓝移到950 nm,整个调谐范围达到了18.8 nm,可调谐VCSEL器件表现出了优异的激光特性,并实现了波长连续可调.

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