InAs/GaAs和InAs/InxGa1-xAs/GaAs纳米线异质结构的生长研究
Growths of InAs/GaAs and InAs/Inx Ga1-xAs/GaAs nanowire heterostructures
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摘要: 利用金辅助金属有机化学气相沉淀法(MOCVD)在GaAs(111)B衬底上分别制备了InAs/GaAs和InAs/InxGa1-xAs/GaAs(0≤x≤1)纳米线异质结构.实验结果显示,直接生长在GaAs纳米线上的InAs纳米线生长方向杂乱或者沿着GaAs纳米线侧壁向衬底方向生长,生长的含有InxGa1-xAs组分渐变缓冲段的InAs/InxGa1-xAs/GaAs 三段式纳米线异质结构在轴向上串接生长而形成双异质结构.通过插入三元化合物InxGa1-xAs渐变缓冲段可以有效的克服界面能差异和晶格失配带来的负面影响,提高纳米线的晶体质量和生长可控性.
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关键词:
- 纳米线异质结构 /
- InxGa1-xAs /
- 组分渐变缓冲层 /
- 金属有机化学气相沉淀法
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