氧压对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜晶格常数的影响及BaTiO3/Ba0.6Sr0.4TiO3超晶格的制备
Influence of oxygen pressure on the lattice constants of Ba0.6 Sr0.4 TiO3 thin films and preparation of BaTiO3/Ba0.6 Sr0.4 TiO3 superlattices
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摘要: 采用脉冲激光沉积(PLD)技术,经一系列的优化实验成功地制备了BaTiO3(BT)和Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)单层膜.C射线衍射分析表明,在L以10,(001)单晶平衬底上生长的BT和BST薄膜都是沿[001]取向的近外延生长.且随着氧压在10-3-25 Pa范围内逐渐增大,BST薄膜的晶格常数与氧压之间近似满足Boltzmann函数关系.其次,在此优化条件下还制备出了高质量的BT/BST超晶格,AFM测量表明BT/BST超晶格的最大均方根粗糙度仅为0.3048 nm,薄膜表面达到了原子尺度的光滑.另外,在超晶格的XRD图谱中还清楚地观察到了卫星峰,根据(002)衍射峰周期调制的卫星峰计算了超周期,得到了BT和BST薄膜的沉积速率.最后,在倾斜单晶衬底上制备的BT/BST超晶格中还首次发现了在BT和BST单层膜中都没有发现的激光感生热电电压(LITV)效应.
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