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基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究

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谢立强, 吴学忠, 李圣怡, 王浩旭, 董培涛. 2010: 基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究, 物理学报, 59(10): 6896-6901.
引用本文: 谢立强, 吴学忠, 李圣怡, 王浩旭, 董培涛. 2010: 基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究, 物理学报, 59(10): 6896-6901.
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Xie Li-Qiang, Wu Xue-Zhong, Li Sheng-Yi, Wang Hao-Xu, Dong Pei-Tao. 2010: A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect, Acta Physica Sinica, 59(10): 6896-6901.
Citation: Xie Li-Qiang, Wu Xue-Zhong, Li Sheng-Yi, Wang Hao-Xu, Dong Pei-Tao. 2010: A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect, Acta Physica Sinica, 59(10): 6896-6901.
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基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究

  • 国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙,410073

A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect

  • 摘要: 为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6 kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-10-30

基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究

  • 国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙,410073

摘要: 为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6 kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性.

English Abstract

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