高级搜索

Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化

,  ,  ,  , 

downloadPDF

上一篇

下一篇

袁春华, 李晓红, 唐多昌, 杨宏道, 李国强. 2010: Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化, 物理学报, 59(10): 7015-7019.
引用本文: 袁春华, 李晓红, 唐多昌, 杨宏道, 李国强. 2010: Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化, 物理学报, 59(10): 7015-7019.
shu
Yuan Chun-Hua, Li Xiao-Hong, Tang Duo-Chang, Yang Hong-Dao, Li Guo-Qiang. 2010: Evolution of silicon surface microstructure induced by Nd:YAG nanosecond laser, Acta Physica Sinica, 59(10): 7015-7019.
Citation: Yuan Chun-Hua, Li Xiao-Hong, Tang Duo-Chang, Yang Hong-Dao, Li Guo-Qiang. 2010: Evolution of silicon surface microstructure induced by Nd:YAG nanosecond laser, Acta Physica Sinica, 59(10): 7015-7019.
shu

Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化

  • 西南科技大学理学院激光与光电子实验室,极端条件物质特性实验室,绵阳,621010

Evolution of silicon surface microstructure induced by Nd:YAG nanosecond laser

  • 摘要: 利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355 nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355 nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355 nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果.
  • 加载中
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  462
  • HTML全文浏览数:  100
  • PDF下载数:  0
  • 施引文献:  0
出版历程
  • 刊出日期:  2010-10-30

Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化

  • 西南科技大学理学院激光与光电子实验室,极端条件物质特性实验室,绵阳,621010

摘要: 利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355 nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355 nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355 nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果.

English Abstract

    全文HTML

参考文献 (0)

目录

/

返回文章
返回