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初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

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丁学成, 傅广生, 梁伟华, 褚立志, 邓泽超, 王英龙. 2010: 初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响, 物理学报, 59(5): 3331-3335.
引用本文: 丁学成, 傅广生, 梁伟华, 褚立志, 邓泽超, 王英龙. 2010: 初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响, 物理学报, 59(5): 3331-3335.
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Ding Xue-Cheng, Fu Guang-Sheng, Liang Wei-Hua, Chu Li-Zhi, Deng Ze-Chao, Wang Ying-Long. 2010: Influence of the initial ablated-particle density on distribution of density and velocity of ablated-particles, Acta Physica Sinica, 59(5): 3331-3335.
Citation: Ding Xue-Cheng, Fu Guang-Sheng, Liang Wei-Hua, Chu Li-Zhi, Deng Ze-Chao, Wang Ying-Long. 2010: Influence of the initial ablated-particle density on distribution of density and velocity of ablated-particles, Acta Physica Sinica, 59(5): 3331-3335.
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初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

  • 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002

Influence of the initial ablated-particle density on distribution of density and velocity of ablated-particles

  • 摘要: 采用蒙特-卡罗(Monte carlo)模拟方法,研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明,随着初始溅射粒子密度增大,烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小,被衬底反弹后,距靶的最小距离减小,烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽,当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时,出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.
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出版历程
  • 刊出日期:  2010-05-30

初始溅射粒子密度对烧蚀粒子密度和速度分布的影响

  • 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002

摘要: 采用蒙特-卡罗(Monte carlo)模拟方法,研究了初始溅射粒子密度对其传输中的密度和速度分布以及环境气体密度分布的影响.结果表明,随着初始溅射粒子密度增大,烧蚀粒子和环境气体高密度峰的交叠区离开靶的最大距离减小,被衬底反弹后,距靶的最小距离减小,烧蚀粒子的速度分布随初始溅射粒子密度增大而变宽,当初始溅射粒子密度大于8.33×1025 m-3时,出现速度劈裂现象.所得结论为进一步定量研究纳米晶粒的成核机理提供了基础.

English Abstract

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