掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究

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孙蓓, 陈抱雪, 隋国荣, 王关德, 邹林儿, 浜中广见, 矶守. 2009: 掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究, 物理学报, 58(5): 3238-3242. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.05.057
引用本文: 孙蓓, 陈抱雪, 隋国荣, 王关德, 邹林儿, 浜中广见, 矶守. 2009: 掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究, 物理学报, 58(5): 3238-3242. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.05.057
Sun Bei, Chen Bao-Xue, Sui Guo-Rong, Wang Guan-De, Zou Lin-Er, Hiromi Hamanaka, Mamoru Iso. 2009: Photoinduced refractive index change effect of amorphous Sn-doped As2S8 film and its application in stripe waveguide fabrication, Acta Physica Sinica, 58(5): 3238-3242. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.05.057
Citation: Sun Bei, Chen Bao-Xue, Sui Guo-Rong, Wang Guan-De, Zou Lin-Er, Hiromi Hamanaka, Mamoru Iso. 2009: Photoinduced refractive index change effect of amorphous Sn-doped As2S8 film and its application in stripe waveguide fabrication, Acta Physica Sinica, 58(5): 3238-3242. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.05.057

掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究

Photoinduced refractive index change effect of amorphous Sn-doped As2S8 film and its application in stripe waveguide fabrication

  • 摘要: 实验研究了Sn1As20S79非晶态半导体薄膜的光折变效应及其膜厚变化的现象,归纳了沉积态样品、退火态样品和光饱和态样品的实验规律,提出和采用紫外光激励的方法试制了Sn1As20S79条形波导,632.8 nm波长导模激励显示该波导具有良好的导波特性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-05-30

掺锡As2S8薄膜光折变效应及其在条波导制备中的应用研究

  • 上海理工大学光电学院,上海,200093
  • 南昌大学物理系,南昌,330031
  • 日本法政大学工学院物质化学系,日本,184-8584
  • 日本东京农工大学工学院应用化学系,日本,184-8588

摘要: 实验研究了Sn1As20S79非晶态半导体薄膜的光折变效应及其膜厚变化的现象,归纳了沉积态样品、退火态样品和光饱和态样品的实验规律,提出和采用紫外光激励的方法试制了Sn1As20S79条形波导,632.8 nm波长导模激励显示该波导具有良好的导波特性.

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