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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

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李之杰, 潘正瑛, 朱靖, 魏启, 王月霞, 臧亮坤, 周亮, 刘提将. 2005: 离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟, 物理学报, 54(5): 2233-2238. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049
引用本文: 李之杰, 潘正瑛, 朱靖, 魏启, 王月霞, 臧亮坤, 周亮, 刘提将. 2005: 离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟, 物理学报, 54(5): 2233-2238. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049
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Li Zhi-Jie, Pan Zheng-Ying, Zhu Jing, Wei Qi, Wang Yue-Xia, Zang Liang-Kun, Zhou Liang, Liu Ti-Jiang. 2005: Simulations of the structure characteristic of diamond-like carbon films formed by ion-beam-assisted deposition, Acta Physica Sinica, 54(5): 2233-2238. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049
Citation: Li Zhi-Jie, Pan Zheng-Ying, Zhu Jing, Wei Qi, Wang Yue-Xia, Zang Liang-Kun, Zhou Liang, Liu Ti-Jiang. 2005: Simulations of the structure characteristic of diamond-like carbon films formed by ion-beam-assisted deposition, Acta Physica Sinica, 54(5): 2233-2238. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.049
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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

  • 复旦大学现代物理研究所,上海,200433;内蒙古民族大学物理与机电学院,通辽,028043

  • 复旦大学现代物理研究所,上海,200433

Simulations of the structure characteristic of diamond-like carbon films formed by ion-beam-assisted deposition

  • 摘要: 采用分子动力学(MD)模拟研究了离子束辅助沉积(1BAD)生长类金刚石(DLC)膜的物理过程.分别选C2分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子.改变Ar的入射能量和到达比(Ar/C),研究了它对DLC膜结构的影响.重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响.分析表明,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率,增加了合成薄膜的SP3键含量.研究结果和实验观察一致,并从合成机理上给出了一些定量解释.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-05-30

离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

  • 复旦大学现代物理研究所,上海,200433;内蒙古民族大学物理与机电学院,通辽,028043
  • 复旦大学现代物理研究所,上海,200433

摘要: 采用分子动力学(MD)模拟研究了离子束辅助沉积(1BAD)生长类金刚石(DLC)膜的物理过程.分别选C2分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子.改变Ar的入射能量和到达比(Ar/C),研究了它对DLC膜结构的影响.重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响.分析表明,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率,增加了合成薄膜的SP3键含量.研究结果和实验观察一致,并从合成机理上给出了一些定量解释.

English Abstract

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