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极紫外光源锡液滴靶的检测研究

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陈子琪, 王新兵, 左都罗, 陆培祥, 吴涛. 2014: 极紫外光源锡液滴靶的检测研究, 强激光与粒子束, 26(12): 39-43. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
引用本文: 陈子琪, 王新兵, 左都罗, 陆培祥, 吴涛. 2014: 极紫外光源锡液滴靶的检测研究, 强激光与粒子束, 26(12): 39-43. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
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Chen Ziqi, Wang Xinbing, Zuo Duluo, Lu Peixiang, Wu Tao. 2014: Detecting tin droplet used for EUV source, High Power Lase and Particle Beams, 26(12): 39-43. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
Citation: Chen Ziqi, Wang Xinbing, Zuo Duluo, Lu Peixiang, Wu Tao. 2014: Detecting tin droplet used for EUV source, High Power Lase and Particle Beams, 26(12): 39-43. doi: 10.11884/HPLPB201426.121005
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极紫外光源锡液滴靶的检测研究

  • 华中科技大学武汉光电国家实验室,武汉,430074

  • 武汉工程大学理学院,武汉,430205

Detecting tin droplet used for EUV source

  • 摘要: 采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性.对本实验室频率为34 kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验.监测结果显示,锡液滴直径约为137 μm,平均间距为375 μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析.
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出版历程
  • 刊出日期:  2014-12-30

极紫外光源锡液滴靶的检测研究

  • 华中科技大学武汉光电国家实验室,武汉,430074
  • 武汉工程大学理学院,武汉,430205

摘要: 采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性.对本实验室频率为34 kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验.监测结果显示,锡液滴直径约为137 μm,平均间距为375 μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析.

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