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超光滑表面及其制造技术的发展

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高宏刚, 曹健林, 朱镛, 陈创天. 2000: 超光滑表面及其制造技术的发展, 物理, 29(10): 610-614. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008
引用本文: 高宏刚, 曹健林, 朱镛, 陈创天. 2000: 超光滑表面及其制造技术的发展, 物理, 29(10): 610-614. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008
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2000: THE DEVELOPMENT AND APPLICATION OF ULTRA-SMOOTH SURFACES, Physics, 29(10): 610-614. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008
Citation: 2000: THE DEVELOPMENT AND APPLICATION OF ULTRA-SMOOTH SURFACES, Physics, 29(10): 610-614. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.10.008
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超光滑表面及其制造技术的发展

  • 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080；中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022

  • 中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022

  • 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080

THE DEVELOPMENT AND APPLICATION OF ULTRA-SMOOTH SURFACES

  • 摘要: 超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支.通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展，希望给出超光滑表面技术的整体轮廓.在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上，通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用.回顾了超光滑表面制造技术的发展过程，对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价，最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点.
    Abstract: We present an overview of ultra-smooth surfaces including their characteristics, application and the development of the relevant machining techniques. Based on the properties of ultra-smooth surfaces, important applications of such surfaces in high-technology fields are presented through some typical examples. Progress in ultra-smooth machining technology is reviewed, and typical machining methods and principles are described. Finally,future trends in ultra-smooth processing technology are discussed.
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出版历程
  • 刊出日期:  2000-10-12

超光滑表面及其制造技术的发展

  • 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080；中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022
  • 中国科学院应用光学国家重点实验室长春 130022
  • 中国科学院北京人工晶体研究发展中心北京 100080

摘要: 超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支.通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展，希望给出超光滑表面技术的整体轮廓.在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上，通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用.回顾了超光滑表面制造技术的发展过程，对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价，最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点.

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