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我国低温等离子体研究进展(Ⅰ)

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江南. 2006: 我国低温等离子体研究进展(Ⅰ), 物理, 35(2): 130-139. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.02.008
引用本文: 江南. 2006: 我国低温等离子体研究进展(Ⅰ), 物理, 35(2): 130-139. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.02.008
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JIANG Nan. 2006: Low temperature plasma research in China( Ⅰ ), Physics, 35(2): 130-139. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.02.008
Citation: JIANG Nan. 2006: Low temperature plasma research in China( Ⅰ ), Physics, 35(2): 130-139. doi: 10.3321/j.issn:0379-4148.2006.02.008
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我国低温等离子体研究进展(Ⅰ)

  • 中国科学院物理研究所,北京,100080

    • 通讯作者: 江南

Low temperature plasma research in China( Ⅰ )

    Corresponding author: JIANG Nan

  • 摘要: 低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象,如磁场重联、尘埃等离子体等,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面,几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及,包括微电子工业中的等离子体工艺,各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.随着低温等离子体技术的发展,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-02-12

我国低温等离子体研究进展(Ⅰ)

    通讯作者: 江南
  • 中国科学院物理研究所,北京,100080

摘要: 低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象,如磁场重联、尘埃等离子体等,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面,几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及,包括微电子工业中的等离子体工艺,各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.随着低温等离子体技术的发展,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题.

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