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高温处理对CNx薄膜晶化的影响

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肖兴成, 江伟辉, 田静芬, 宋力昕, 胡行方. 2000: 高温处理对CNx薄膜晶化的影响, 物理学报, 49(1): 173-176. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.01.037
引用本文: 肖兴成, 江伟辉, 田静芬, 宋力昕, 胡行方. 2000: 高温处理对CNx薄膜晶化的影响, 物理学报, 49(1): 173-176. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.01.037
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XIAO XING-CHENG, JIANG WEI-HUI, TIAN JING-FEN, SONG LI-XING, HU XING-FANG. 2000: EFFECT OF HIGH-TEMPERATURE TREATMENT ON THE CRYSTALLIZATION OF CNx THIN FILMS, Acta Physica Sinica, 49(1): 173-176. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.01.037
Citation: XIAO XING-CHENG, JIANG WEI-HUI, TIAN JING-FEN, SONG LI-XING, HU XING-FANG. 2000: EFFECT OF HIGH-TEMPERATURE TREATMENT ON THE CRYSTALLIZATION OF CNx THIN FILMS, Acta Physica Sinica, 49(1): 173-176. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.01.037
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高温处理对CNx薄膜晶化的影响

  • 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

EFFECT OF HIGH-TEMPERATURE TREATMENT ON THE CRYSTALLIZATION OF CNx THIN FILMS

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出版历程
  • 刊出日期:  2000-01-30

高温处理对CNx薄膜晶化的影响

  • 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

摘要: 利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜,然后在高温下、常压N气氛中进行热处理,利用DTA,XRD和Auger研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化.实验结果表明:在1186℃附近出现了晶化现象,高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变,在XRD图谱上出现α-C3N4衍射峰.Auger实验结果表明膜中出现富C,Si,N的区域.

English Abstract

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