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能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

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李荣斌, 戴永兵, 胡晓君, 沈荷生, 何贤昶. 2003: 能量粒子轰击金刚石的计算机模拟, 物理学报, 52(12): 3135-3141. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.12.035
引用本文: 李荣斌, 戴永兵, 胡晓君, 沈荷生, 何贤昶. 2003: 能量粒子轰击金刚石的计算机模拟, 物理学报, 52(12): 3135-3141. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.12.035
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2003: A molecular dynamics study of energetic particle bombardment on diamond, Acta Physica Sinica, 52(12): 3135-3141. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.12.035
Citation: 2003: A molecular dynamics study of energetic particle bombardment on diamond, Acta Physica Sinica, 52(12): 3135-3141. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.12.035
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能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

  • 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

A molecular dynamics study of energetic particle bombardment on diamond

  • 摘要: 利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:硼注入后产生温度为5000 K的热峰,其寿命为0.18 ps;同时产生半径为0.45 nm局部非晶化区域,三重配位原子数占该区域原子数的7%.薄膜表层原子向内弛豫,近表层原子向外弛豫,表面层与近表层原子的间距减少了 15%,表面层表现为压应力.硼原子以B<110>分裂间隙的形式存在于金刚石结构中.
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出版历程

能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

  • 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030

摘要: 利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:硼注入后产生温度为5000 K的热峰,其寿命为0.18 ps;同时产生半径为0.45 nm局部非晶化区域,三重配位原子数占该区域原子数的7%.薄膜表层原子向内弛豫,近表层原子向外弛豫,表面层与近表层原子的间距减少了 15%,表面层表现为压应力.硼原子以B<110>分裂间隙的形式存在于金刚石结构中.

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