用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻

刘新福; 孙以材; 张艳辉; 陈志永

doi:10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.011

物理学报

用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻

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刘新福, 孙以材, 张艳辉, 陈志永. 2004: 用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻, 物理学报, 53(8): 2461-2466. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.011

引用本文:

2004: The measurement of square resistance for microarea by square four-probe techniques and using a modified Rymaszewski's formula, Acta Physica Sinica, 53(8): 2461-2466. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.011

Citation:

2004: The measurement of square resistance for microarea by square four-probe techniques and using a modified Rymaszewski's formula, Acta Physica Sinica, 53(8): 2461-2466. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.011

用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻

河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津,300130

The measurement of square resistance for microarea by square four-probe techniques and using a modified Rymaszewski's formula

摘要: 提出用改进的Rvmaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法,从理论上推导出方形四探针产生游移时的Rymaszewski改进公式,讨论探针游移对测试结果的影响.制定出可操作的测试方法,对实际样品进行测试验证,并绘制了等值线图.
- 四探针技术 /
- 方形四探针 /
- 微区电阻 /
- 探针游移