高级搜索

SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析

,  ,  ,  ,  ,  ,  , 

downloadPDF

上一篇

下一篇

魏贤华, 张鹰, 李金隆, 邓新武, 刘兴钊, 蒋树文, 朱俊, 李言荣. 2005: SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析, 物理学报, 54(1): 217-220. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.039
引用本文: 魏贤华, 张鹰, 李金隆, 邓新武, 刘兴钊, 蒋树文, 朱俊, 李言荣. 2005: SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析, 物理学报, 54(1): 217-220. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.039
shu
2005: Analysis of reflection high-energy electron diffraction pattern during SrTiO3 homoepitaxy, Acta Physica Sinica, 54(1): 217-220. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.039
Citation: 2005: Analysis of reflection high-energy electron diffraction pattern during SrTiO3 homoepitaxy, Acta Physica Sinica, 54(1): 217-220. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.039
shu

SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析

  • 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054

Analysis of reflection high-energy electron diffraction pattern during SrTiO3 homoepitaxy

  • 摘要: 在激光分子束外延实验中,用RHEED原位监测了SrTiO3基片初始、退火以及同质外延过程中的表面形态.通过对RHEED图案分析,获取了表面面内的晶格常数振荡与衍射条纹的半高宽振荡现象,前者是由退火重构表面与薄膜之间的界面造成的,后者与二维岛边界的弛豫相关.另外还观察到了等离子体对入射电子束的影响而导致的RHEED强度振荡行为的相位移现象.
  • 加载中
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  501
  • HTML全文浏览数:  91
  • PDF下载数:  31
  • 施引文献:  0
出版历程
  • 刊出日期:  2005-01-30

SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析

  • 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054

摘要: 在激光分子束外延实验中,用RHEED原位监测了SrTiO3基片初始、退火以及同质外延过程中的表面形态.通过对RHEED图案分析,获取了表面面内的晶格常数振荡与衍射条纹的半高宽振荡现象,前者是由退火重构表面与薄膜之间的界面造成的,后者与二维岛边界的弛豫相关.另外还观察到了等离子体对入射电子束的影响而导致的RHEED强度振荡行为的相位移现象.

English Abstract

    全文HTML

参考文献 (0)

目录

/

返回文章
返回