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考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集

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谢国锋, 王德武, 应纯同. 2005: 考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集, 物理学报, 54(5): 2147-2152. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.033
引用本文: 谢国锋, 王德武, 应纯同. 2005: 考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集, 物理学报, 54(5): 2147-2152. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.033
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Xie Guo-Feng, Wang De-Wu, Ying Chun-Tong. 2005: Ions extraction and collection using the RF resonance method and taking into consideration the sputtering loss, Acta Physica Sinica, 54(5): 2147-2152. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.033
Citation: Xie Guo-Feng, Wang De-Wu, Ying Chun-Tong. 2005: Ions extraction and collection using the RF resonance method and taking into consideration the sputtering loss, Acta Physica Sinica, 54(5): 2147-2152. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.033
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考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集

  • 清华大学工程物理系,北京,100084

Ions extraction and collection using the RF resonance method and taking into consideration the sputtering loss

  • 摘要: 采用PIC-MCC方法研究了AVLIS工程中一维RF共振法离子引出和收集过程,重点研究离子在收集板上造成的溅射损失以及离子的收集效率.模拟结果表明,RF共振法与平行板静电场法相比,引出时间较短,碰撞损失和溅射损失较低,收集率较高;增加引出电压,可以缩短引出时间,降低碰撞损失,但是增加了溅射损失,使得收集率降低;增大磁场强度,使碰撞损失降低,溅射损失增加,收集率降低.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-05-30

考虑溅射损失的RF共振法离子引出和收集

  • 清华大学工程物理系,北京,100084

摘要: 采用PIC-MCC方法研究了AVLIS工程中一维RF共振法离子引出和收集过程,重点研究离子在收集板上造成的溅射损失以及离子的收集效率.模拟结果表明,RF共振法与平行板静电场法相比,引出时间较短,碰撞损失和溅射损失较低,收集率较高;增加引出电压,可以缩短引出时间,降低碰撞损失,但是增加了溅射损失,使得收集率降低;增大磁场强度,使碰撞损失降低,溅射损失增加,收集率降低.

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