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电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

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陈卓, 何威, 蒲以康. 2005: 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量, 物理学报, 54(5): 2153-2157. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.034
引用本文: 陈卓, 何威, 蒲以康. 2005: 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量, 物理学报, 54(5): 2153-2157. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.034
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Chen Zhuo, He Wei, Pu Yi-Kang. 2005: Measurement of metastable state Densities and electron temperatures in an electron cyclotron resonance argon plasma, Acta Physica Sinica, 54(5): 2153-2157. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.034
Citation: Chen Zhuo, He Wei, Pu Yi-Kang. 2005: Measurement of metastable state Densities and electron temperatures in an electron cyclotron resonance argon plasma, Acta Physica Sinica, 54(5): 2153-2157. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.05.034
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电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

  • 清华大学工程物理系,北京,100084;北京理工大学物理系,北京,100081

  • 清华大学工程物理系,北京,100084

Measurement of metastable state Densities and electron temperatures in an electron cyclotron resonance argon plasma

  • 摘要: 测量了电子回旋共振(ECR)氩等离子体中Ar的1s5亚稳态粒子数密度,在气压为0.2-0.8 Pa、功率为500-700W的范围内,利用吸收光谱法测量了Ar原子811.5 nm谱线的吸收强度,得到1s5亚稳态粒子数密度为1×1015-4×1015m-3.本文综合考虑基态和1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后,用两条发射谱线强度之比得到电子温度.结果表明,计入了1s5亚稳态激发的贡献后,所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-05-30

电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

  • 清华大学工程物理系,北京,100084;北京理工大学物理系,北京,100081
  • 清华大学工程物理系,北京,100084

摘要: 测量了电子回旋共振(ECR)氩等离子体中Ar的1s5亚稳态粒子数密度,在气压为0.2-0.8 Pa、功率为500-700W的范围内,利用吸收光谱法测量了Ar原子811.5 nm谱线的吸收强度,得到1s5亚稳态粒子数密度为1×1015-4×1015m-3.本文综合考虑基态和1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后,用两条发射谱线强度之比得到电子温度.结果表明,计入了1s5亚稳态激发的贡献后,所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别.

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