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双材料微梁阵列室温物体红外成像

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缪正宇, 张青川, 陈大鹏, 伍小平, 李超波, 郭哲颖, 董凤良, 熊志铭. 2006: 双材料微梁阵列室温物体红外成像, 物理学报, 55(7): 3208-3214. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.002
引用本文: 缪正宇, 张青川, 陈大鹏, 伍小平, 李超波, 郭哲颖, 董凤良, 熊志铭. 2006: 双材料微梁阵列室温物体红外成像, 物理学报, 55(7): 3208-3214. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.002
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Miao Zheng-Yu, Zhang Qing-Chuan, Chen Da-Peng, Wu Xiao-Ping, Li Chao-Bo, Guo Zhe-Ying, Dong Feng-Liang, Xiong Zhi-Ming. 2006: Bi-material mircocantilever array room-temperature IR imaging, Acta Physica Sinica, 55(7): 3208-3214. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.002
Citation: Miao Zheng-Yu, Zhang Qing-Chuan, Chen Da-Peng, Wu Xiao-Ping, Li Chao-Bo, Guo Zhe-Ying, Dong Feng-Liang, Xiong Zhi-Ming. 2006: Bi-material mircocantilever array room-temperature IR imaging, Acta Physica Sinica, 55(7): 3208-3214. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.002
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双材料微梁阵列室温物体红外成像

  • 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027

  • 中国科学院微电子研究所,北京,100029

Bi-material mircocantilever array room-temperature IR imaging

  • 摘要: 针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体--人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-07-30

双材料微梁阵列室温物体红外成像

  • 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
  • 中国科学院微电子研究所,北京,100029

摘要: 针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体--人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.

English Abstract

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