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(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

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刘洪, 蒲朝辉, 龚小刚, 王志红, 黄惠东, 李言荣, 肖定全, 朱建国. 2006: (111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究, 物理学报, 55(11): 6123-6128. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.092
引用本文: 刘洪, 蒲朝辉, 龚小刚, 王志红, 黄惠东, 李言荣, 肖定全, 朱建国. 2006: (111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究, 物理学报, 55(11): 6123-6128. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.092
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Liu Hong, Pu Zhao-Hui, Gong Xiao-Gang, Wang Zhi-Hong, Huang Hui-Dong, Li Yan-Rong, Xiao Ding-Quan, Zhu Jian-Guo. 2006: Study of nanoscale banded 90° domain patterns and pyroelectric properties in (111) oriented ( Pb, La) TiO3 thin films, Acta Physica Sinica, 55(11): 6123-6128. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.092
Citation: Liu Hong, Pu Zhao-Hui, Gong Xiao-Gang, Wang Zhi-Hong, Huang Hui-Dong, Li Yan-Rong, Xiao Ding-Quan, Zhu Jian-Guo. 2006: Study of nanoscale banded 90° domain patterns and pyroelectric properties in (111) oriented ( Pb, La) TiO3 thin films, Acta Physica Sinica, 55(11): 6123-6128. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.092
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(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

  • 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

  • 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

Study of nanoscale banded 90° domain patterns and pyroelectric properties in (111) oriented ( Pb, La) TiO3 thin films

  • 摘要: 采用射频磁控溅射技术在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了掺镧钛酸铅(PLT)铁电薄膜.用X射线衍射技术(XRD)研究了PLT薄膜结晶性能,结果表明PLT薄膜为(111)择优取向钙钛矿相织构.使用原子力显微镜(AFM)和压电响应力显微镜(PFM)分别观察了PLT薄膜的表面形貌和对应区域的电畴结构.PFM观察显示PLT薄膜中存在90°纳米带状畴,电畴的极化为首尾相接的低能量的排列方式,带状畴的宽度为20-60nm.研究了PLT10铁电薄膜的制备条件与性能之间的关系.发现在优化条件下制备的PLT10铁电薄膜的介电常数εr为365、介电损耗tgδ为0.02,热释电系数γ为2.18×10-8C·(cm2·K)-1,可以满足制备非制冷红外探测器的需要.
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出版历程

(111)取向(Pb,La)TiO3铁电薄膜中90°纳米带状畴与热释电性能的研究

  • 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064
  • 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

摘要: 采用射频磁控溅射技术在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了掺镧钛酸铅(PLT)铁电薄膜.用X射线衍射技术(XRD)研究了PLT薄膜结晶性能,结果表明PLT薄膜为(111)择优取向钙钛矿相织构.使用原子力显微镜(AFM)和压电响应力显微镜(PFM)分别观察了PLT薄膜的表面形貌和对应区域的电畴结构.PFM观察显示PLT薄膜中存在90°纳米带状畴,电畴的极化为首尾相接的低能量的排列方式,带状畴的宽度为20-60nm.研究了PLT10铁电薄膜的制备条件与性能之间的关系.发现在优化条件下制备的PLT10铁电薄膜的介电常数εr为365、介电损耗tgδ为0.02,热释电系数γ为2.18×10-8C·(cm2·K)-1,可以满足制备非制冷红外探测器的需要.

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