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NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析

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李永华, 孟繁玲, 刘常升, 郑伟涛, 王煜明. 2009: NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析, 物理学报, 58(4): 2742-2745. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.097
引用本文: 李永华, 孟繁玲, 刘常升, 郑伟涛, 王煜明. 2009: NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析, 物理学报, 58(4): 2742-2745. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.097
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Li Yong-Hua, Meng Fan-Ling, Liu Chang-Sheng, Zheng Wei-Tao, Wang Yu-Ming. 2009: X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the effect of thickness on the transformation temperature of NiTi alloy thin films, Acta Physica Sinica, 58(4): 2742-2745. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.097
Citation: Li Yong-Hua, Meng Fan-Ling, Liu Chang-Sheng, Zheng Wei-Tao, Wang Yu-Ming. 2009: X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the effect of thickness on the transformation temperature of NiTi alloy thin films, Acta Physica Sinica, 58(4): 2742-2745. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.097
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NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析

  • 哈尔滨工程大学理学院,水下智能机器人技术国防科技重点实验室,哈尔滨,150001

  • 哈尔滨工程大学理学院,水下智能机器人技术国防科技重点实验室,哈尔滨,150001;吉林大学材料科学系,汽车材料教育部重点实验室,长春,130012

  • 东北大学材料与冶金学院,沈阳,110004

  • 吉林大学材料科学系,汽车材料教育部重点实验室,长春,130012

X-ray photoelectron spectroscopy analysis of the effect of thickness on the transformation temperature of NiTi alloy thin films

  • 摘要: 采用X射线衍射和X射线光电子能谱实验手段对不同厚度的NiTi薄膜相变温度的变化进行了分析.结果表明在相同衬底温度和退火条件下,3 μm厚度的薄膜晶化温度高于18 μm厚度的薄膜.衬底温度越高,薄膜越易晶化,退火后薄膜奥氏体相转变温度As越低.薄膜的表面有TiO2氧化层形成,氧化层阻止了Ni原子渗出;膜与基片的界面存在Ti2O3和NiO.由于表面和界面氧化层的存在,不同厚度的薄膜内层的厚度也不同,因而薄膜越薄,Ni原子的含量就越高.Ni原子的含量的不同会影响薄膜的相变温度.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-04-30

NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析

  • 哈尔滨工程大学理学院,水下智能机器人技术国防科技重点实验室,哈尔滨,150001
  • 哈尔滨工程大学理学院,水下智能机器人技术国防科技重点实验室,哈尔滨,150001;吉林大学材料科学系,汽车材料教育部重点实验室,长春,130012
  • 东北大学材料与冶金学院,沈阳,110004
  • 吉林大学材料科学系,汽车材料教育部重点实验室,长春,130012

摘要: 采用X射线衍射和X射线光电子能谱实验手段对不同厚度的NiTi薄膜相变温度的变化进行了分析.结果表明在相同衬底温度和退火条件下,3 μm厚度的薄膜晶化温度高于18 μm厚度的薄膜.衬底温度越高,薄膜越易晶化,退火后薄膜奥氏体相转变温度As越低.薄膜的表面有TiO2氧化层形成,氧化层阻止了Ni原子渗出;膜与基片的界面存在Ti2O3和NiO.由于表面和界面氧化层的存在,不同厚度的薄膜内层的厚度也不同,因而薄膜越薄,Ni原子的含量就越高.Ni原子的含量的不同会影响薄膜的相变温度.

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