氧化物薄膜晶体管研究进展?

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兰林锋, 张鹏, 彭俊彪. 2016: 氧化物薄膜晶体管研究进展?, 物理学报, 65(12): 128504. doi: 10.7498/aps.65.128504
引用本文: 兰林锋, 张鹏, 彭俊彪. 2016: 氧化物薄膜晶体管研究进展?, 物理学报, 65(12): 128504. doi: 10.7498/aps.65.128504
Lan Lin-Feng, Zhang Peng, Peng Jun-Biao. 2016: Research progress on oxide-based thin film transisitors, Acta Physica Sinica, 65(12): 128504. doi: 10.7498/aps.65.128504
Citation: Lan Lin-Feng, Zhang Peng, Peng Jun-Biao. 2016: Research progress on oxide-based thin film transisitors, Acta Physica Sinica, 65(12): 128504. doi: 10.7498/aps.65.128504

氧化物薄膜晶体管研究进展?

Research progress on oxide-based thin film transisitors

  • 摘要: 氧化物半导体材料因其载流子迁移率高、制备温度低、电学均匀性好、对可见光透明和成本低等优势,被认为是最适合驱动有机发光二极管的薄膜晶体管(TFT)的半导体有源材料之一。目前氧化物TFT已成功地应用在平板显示的驱动背板上。本文从氧化物TFT的历史和发展状况出发,先介绍了氧化物半导体材料及其载流子输运机理,然后详细介绍了氧化物TFT的结构、制备方法以及电学稳定性,接着介绍了近些年来氧化物TFT的应用情况,最后总结了氧化物TFT存在的问题以及今后研究的方向。
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出版历程
  • 刊出日期:  2016-06-30

氧化物薄膜晶体管研究进展?

  • 华南理工大学,发光材料与器件国家重点实验室,广州 510640

摘要: 氧化物半导体材料因其载流子迁移率高、制备温度低、电学均匀性好、对可见光透明和成本低等优势,被认为是最适合驱动有机发光二极管的薄膜晶体管(TFT)的半导体有源材料之一。目前氧化物TFT已成功地应用在平板显示的驱动背板上。本文从氧化物TFT的历史和发展状况出发,先介绍了氧化物半导体材料及其载流子输运机理,然后详细介绍了氧化物TFT的结构、制备方法以及电学稳定性,接着介绍了近些年来氧化物TFT的应用情况,最后总结了氧化物TFT存在的问题以及今后研究的方向。

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