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二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

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王培智, 田地, 龙涛, 王利, 包泽民, 邱春玲, 刘敦一. 2016: 二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究, 质谱学报, 37(3): 222-228. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0222
引用本文: 王培智, 田地, 龙涛, 王利, 包泽民, 邱春玲, 刘敦一. 2016: 二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究, 质谱学报, 37(3): 222-228. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0222
shu
WANG Pei-zhi, TIAN Di, LONG Tao, WANG Li, BAO Ze-min, QIU Chun-ling, LIU Dun-yi. 2016: Research of Secondary Neutral Particles Spatial Distribution of Secondary Ion Mass Spectrometer, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 37(3): 222-228. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0222
Citation: WANG Pei-zhi, TIAN Di, LONG Tao, WANG Li, BAO Ze-min, QIU Chun-ling, LIU Dun-yi. 2016: Research of Secondary Neutral Particles Spatial Distribution of Secondary Ion Mass Spectrometer, Journal of Chinese Mass Spectrometry Society, 37(3): 222-228. doi: 10.7538/zpxb.2016.37.03.0222
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二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

  • 吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林 长春,130021

  • 中国地质科学院地质研究所,北京离子探针中心,北京 100037

  • 大连民族大学,辽宁 大连,116600

Research of Secondary Neutral Particles Spatial Distribution of Secondary Ion Mass Spectrometer

  • 摘要: 为提高二次离子质谱仪(secondary ion mass spectrometer,SIMS)的灵敏度,引入了飞秒激光电离一次离子轰击溅射产生的二次中性粒子.实验以纯银、纯铜为目标样品,利用自主研制的飞行时间质谱仪分析二次后电离的离子,研究二次中性粒子的后电离效率和空间分布.结果表明:飞秒激光电离技术可将仪器的灵敏度提高70倍以上;飞秒激光电离出的107Ag+和109Ag+的同位素丰度比值误差为0.8％;二次中性粒子的空间分布符合Maxwell-Boltzmann模型.该结果可为在设计方法上提高SIMS仪器灵敏度提供依据.
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出版历程
  • 刊出日期:  2016-06-28

二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

  • 吉林大学仪器科学与电气工程学院,吉林 长春,130021
  • 中国地质科学院地质研究所,北京离子探针中心,北京 100037
  • 大连民族大学,辽宁 大连,116600

摘要: 为提高二次离子质谱仪(secondary ion mass spectrometer,SIMS)的灵敏度,引入了飞秒激光电离一次离子轰击溅射产生的二次中性粒子.实验以纯银、纯铜为目标样品,利用自主研制的飞行时间质谱仪分析二次后电离的离子,研究二次中性粒子的后电离效率和空间分布.结果表明:飞秒激光电离技术可将仪器的灵敏度提高70倍以上;飞秒激光电离出的107Ag+和109Ag+的同位素丰度比值误差为0.8％;二次中性粒子的空间分布符合Maxwell-Boltzmann模型.该结果可为在设计方法上提高SIMS仪器灵敏度提供依据.

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