锗硅异质结晶体管单粒子效应激光微束模拟
Influencing factors of SiGe heterojunction bipolar transistor single-event effect in laser microbeam simulation test
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摘要: 对国产锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT)进行了单粒子效应激光微束辐照试验,观测SiGeHBT单粒子效应的敏感区域,测试不同外加电压和不同激光能量下SiGe HBT集电极瞬变电流和电荷收集情况,并结合器件结构对试验结果进行分析.试验结果表明:国产SiGe HBT位于集电极/衬底结内的区域对单粒子效应敏感,波长为1064 nm的激光在能量约为1.5nJ时诱发SiGe HBT单粒子效应,引起电流瞬变.入射激光能量增强,电流脉冲增大,电荷收集量增加;外加电压增大,电流脉冲的波峰增大;SiGe HBT的单粒子效应与外加电压大小和入射激光能量都相关,电压主要影响瞬变电流的峰值,而电荷收集量主要依赖于入射激光能量.
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关键词:
- 锗硅异质结双极晶体管 /
- 单粒子效应 /
- 激光微束 /
- 电荷收集
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计量
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