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基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件

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云宇, 彭勇, 田小强, 周文超. 2011: 基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件, 强激光与粒子束, 23(7): 1831-1834. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1831
引用本文: 云宇, 彭勇, 田小强, 周文超. 2011: 基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件, 强激光与粒子束, 23(7): 1831-1834. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1831
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Yun Yu, Peng Yong, Tian Xiaoqiang, Zhou Wenchao. 2011: Large aperture optical components test based on sub-aperture stitching, High Power Lase and Particle Beams, 23(7): 1831-1834. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1831
Citation: Yun Yu, Peng Yong, Tian Xiaoqiang, Zhou Wenchao. 2011: Large aperture optical components test based on sub-aperture stitching, High Power Lase and Particle Beams, 23(7): 1831-1834. doi: 10.3788/HPLPB20112307.1831
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基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件

  • 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川绵阳,621900

Large aperture optical components test based on sub-aperture stitching

  • 摘要: 为了实现小口径干涉仪对大口径光学元件的低成本、高分辨力检测,可采用子孔径拼接方法.在对拼接算法进行改进的基础上,开发了拼接检测软件；建立了一套拼接检测系统,开展了大口径平面光学元件的子孔径拼接检测实验研究.利用9个60 mm×60 mm子孔径拼接来检测120 mm× 120 mm的光学元件,检测结果表明:峰谷值误差为2.37％,均方根值误差仅为0.27％.
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-07-30

基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件

  • 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川绵阳,621900

摘要: 为了实现小口径干涉仪对大口径光学元件的低成本、高分辨力检测,可采用子孔径拼接方法.在对拼接算法进行改进的基础上,开发了拼接检测软件；建立了一套拼接检测系统,开展了大口径平面光学元件的子孔径拼接检测实验研究.利用9个60 mm×60 mm子孔径拼接来检测120 mm× 120 mm的光学元件,检测结果表明:峰谷值误差为2.37％,均方根值误差仅为0.27％.

English Abstract

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