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基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

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黄圣铃, 穆宝忠, 伊圣振, 王新, 王占山, 丁永坤, 缪文勇, 董建军. 2009: 基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法, 强激光与粒子束, 21(6): 841-845.
引用本文: 黄圣铃, 穆宝忠, 伊圣振, 王新, 王占山, 丁永坤, 缪文勇, 董建军. 2009: 基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法, 强激光与粒子束, 21(6): 841-845.
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Huang Shengling, Mu Baozhong, Yi Shengzhen, Wang Xin, Wang Zhanshan, Ding Yongkun, Miao Wenyong, Dong Jianjun. 2009: Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 841-845.
Citation: Huang Shengling, Mu Baozhong, Yi Shengzhen, Wang Xin, Wang Zhanshan, Ding Yongkun, Miao Wenyong, Dong Jianjun. 2009: Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system, High Power Lase and Particle Beams, 21(6): 841-845.
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基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Aiming of Kirkpatrick-Baez microscope based on auxiliary optical system

  • 摘要: 研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法.设计了工作能点8 keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5 μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求.基于KB系统的物像关系和精度要求,设计了辅助的可见光成像系统.实现了可见光系统与X射线KB系统间的等效瞄准,利用耦合好的系统进行了瞄准和x射线成像实验.实验结果表明:辅助光路可以实现士20 μm的垂轴面和士300 μm的轴向定位精度,满足KB显微镜的瞄准要求.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-06-30

基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法.设计了工作能点8 keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5 μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求.基于KB系统的物像关系和精度要求,设计了辅助的可见光成像系统.实现了可见光系统与X射线KB系统间的等效瞄准,利用耦合好的系统进行了瞄准和x射线成像实验.实验结果表明:辅助光路可以实现士20 μm的垂轴面和士300 μm的轴向定位精度,满足KB显微镜的瞄准要求.

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