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激光测头光束质量分析与控制

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曾茜逾, 曹益平, 周力萍. 2009: 激光测头光束质量分析与控制, 强激光与粒子束, 21(1): 20-24.
引用本文: 曾茜逾, 曹益平, 周力萍. 2009: 激光测头光束质量分析与控制, 强激光与粒子束, 21(1): 20-24.
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Zeng Xiyu, Cao Yiping, Zhou Liping. 2009: Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe, High Power Lase and Particle Beams, 21(1): 20-24.
Citation: Zeng Xiyu, Cao Yiping, Zhou Liping. 2009: Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe, High Power Lase and Particle Beams, 21(1): 20-24.
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激光测头光束质量分析与控制

  • 四川大学光电科学技术系,成都,610064

Quality analysis and control on beam of light in laser measuring probe

  • 摘要: 建立了光束质量控制的数学模型,提出了一种可定量评价光束质量的参数优化选择方法.针对激光测头进行了两片式光束质量控制光学系统的优化设计,并与光束聚焦控制、准直控制方法进行对比实验.激光结果证明:该优化光束控制系统在测量范围内既保持了光束的均匀性,光斑尺寸较小(光腰尺寸为34μm),又保证了光束的精细度,有效地抑制了光束质量引入的测量误差,在±5 mm测量范围内,其均方根误差仅为6.3μm,测量精度明显优于聚焦控制和准直控制系统.
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出版历程
  • 刊出日期:  2009-01-30

激光测头光束质量分析与控制

  • 四川大学光电科学技术系,成都,610064

摘要: 建立了光束质量控制的数学模型,提出了一种可定量评价光束质量的参数优化选择方法.针对激光测头进行了两片式光束质量控制光学系统的优化设计,并与光束聚焦控制、准直控制方法进行对比实验.激光结果证明:该优化光束控制系统在测量范围内既保持了光束的均匀性,光斑尺寸较小(光腰尺寸为34μm),又保证了光束的精细度,有效地抑制了光束质量引入的测量误差,在±5 mm测量范围内,其均方根误差仅为6.3μm,测量精度明显优于聚焦控制和准直控制系统.

English Abstract

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