纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性
Secondary Electron Emission characteristic of nano-crystalline diamond films
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摘要: 简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析.在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了二次发射系数为15的满意结果,表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景.
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关键词:
- 高平均功率自由电子激光 /
- 纳米金刚石膜 /
- 微波等离子体化学气相沉积方法 /
- 二次电子发射特性
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