纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性

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李凯, 金晓, 甘孔银, 王汉斌, 胡和平. 2008: 纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性, 强激光与粒子束, 20(10): 1744-1748.
引用本文: 李凯, 金晓, 甘孔银, 王汉斌, 胡和平. 2008: 纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性, 强激光与粒子束, 20(10): 1744-1748.
LI Kai, JIN Xiao, GAN Kong-yin, WANG Han-bin, HU He-ping. 2008: Secondary Electron Emission characteristic of nano-crystalline diamond films, High Power Lase and Particle Beams, 20(10): 1744-1748.
Citation: LI Kai, JIN Xiao, GAN Kong-yin, WANG Han-bin, HU He-ping. 2008: Secondary Electron Emission characteristic of nano-crystalline diamond films, High Power Lase and Particle Beams, 20(10): 1744-1748.

纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性

Secondary Electron Emission characteristic of nano-crystalline diamond films

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出版历程
  • 刊出日期:  2008-10-30

纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性

  • 中国工程物理研究院,应用电子学研究所,四川,绵阳,621900

摘要: 简要介绍了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程,并对制备的薄膜进行了表面分析.在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置,得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数,取得了二次发射系数为15的满意结果,表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景.

English Abstract

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