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CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

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李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. 2007: CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值, 强激光与粒子束, 19(10): 1739-1743.
引用本文: 李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. 2007: CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值, 强激光与粒子束, 19(10): 1739-1743.
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LI Xu-ping, ZU Xiao-tao, YUAN Xiao-dong, JIANG Xiao-dong, L(U) Hai-bin, ZHENG Wan-guo, TANG Can, LI Ke, XIANG Xia, GUO Yuan-jun, XU Shi-zhen, YUAN Zhao-lin. 2007: Effects of CO2 laser and vacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates, High Power Lase and Particle Beams, 19(10): 1739-1743.
Citation: LI Xu-ping, ZU Xiao-tao, YUAN Xiao-dong, JIANG Xiao-dong, L(U) Hai-bin, ZHENG Wan-guo, TANG Can, LI Ke, XIANG Xia, GUO Yuan-jun, XU Shi-zhen, YUAN Zhao-lin. 2007: Effects of CO2 laser and vacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates, High Power Lase and Particle Beams, 19(10): 1739-1743.
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CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

Effects of CO2 laser and vacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates

  • 摘要: 采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400 nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09 J/cm2.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-10-30

CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

摘要: 采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400 nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09 J/cm2.

English Abstract

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