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静电放电引起2SC3356潜在失效的研究

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祁树锋, 刘尚合, 刘红兵, 杨洁. 2007: 静电放电引起2SC3356潜在失效的研究, 强激光与粒子束, 19(4): 638-642.
引用本文: 祁树锋, 刘尚合, 刘红兵, 杨洁. 2007: 静电放电引起2SC3356潜在失效的研究, 强激光与粒子束, 19(4): 638-642.
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QI Shu-feng, LIU Shang-he, LIU Hong-bing, YANG Jie. 2007: Latent failure of 2SC3356 caused by electrostatic discharge, High Power Lase and Particle Beams, 19(4): 638-642.
Citation: QI Shu-feng, LIU Shang-he, LIU Hong-bing, YANG Jie. 2007: Latent failure of 2SC3356 caused by electrostatic discharge, High Power Lase and Particle Beams, 19(4): 638-642.
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静电放电引起2SC3356潜在失效的研究

  • 军械工程学院,静电与电磁防护研究所,石家庄,050003

  • 中国电子科技集团,第13研究所,石家庄,050051

Latent failure of 2SC3356 caused by electrostatic discharge

  • 摘要: 研究了低电压的人体模型(HBM)静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在失效.分别从CB结和EB结对2SC3356晶体管施加低电压HBM的ESD应力,结果表明:从CB结施加低电压的ESD电应力,所产生的潜在失效的几率要高于从EB结施加低电压的ESD电应力产生的潜在失效几率,即CB结比EB结对低电压的ESD应力引入的潜在失效更为敏感.高温(≥125 ℃)寿命实验有退火效应,从而缓解了低电压的ESD应力使器件产生的潜在损伤,使静电放电过程中引入的潜在损伤自恢复.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-04-30

静电放电引起2SC3356潜在失效的研究

  • 军械工程学院,静电与电磁防护研究所,石家庄,050003
  • 中国电子科技集团,第13研究所,石家庄,050051

摘要: 研究了低电压的人体模型(HBM)静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在失效.分别从CB结和EB结对2SC3356晶体管施加低电压HBM的ESD应力,结果表明:从CB结施加低电压的ESD电应力,所产生的潜在失效的几率要高于从EB结施加低电压的ESD电应力产生的潜在失效几率,即CB结比EB结对低电压的ESD应力引入的潜在失效更为敏感.高温(≥125 ℃)寿命实验有退火效应,从而缓解了低电压的ESD应力使器件产生的潜在损伤,使静电放电过程中引入的潜在损伤自恢复.

English Abstract

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