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软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量

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张莉, 吴永刚, 曹鸿, 徐垚, 焦宏飞, 陈玲燕. 2006: 软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量, 强激光与粒子束, 18(6): 953-956.
引用本文: 张莉, 吴永刚, 曹鸿, 徐垚, 焦宏飞, 陈玲燕. 2006: 软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量, 强激光与粒子束, 18(6): 953-956.
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ZHANG Li, WU Yong-gang, CAO Hong, XU Yao, JIAO Hong-fei, CHEN Ling-yan. 2006: Preparation and research of free-standing Zr filter for soft X-ray laser, High Power Lase and Particle Beams, 18(6): 953-956.
Citation: ZHANG Li, WU Yong-gang, CAO Hong, XU Yao, JIAO Hong-fei, CHEN Ling-yan. 2006: Preparation and research of free-standing Zr filter for soft X-ray laser, High Power Lase and Particle Beams, 18(6): 953-956.
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软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海200092

Preparation and research of free-standing Zr filter for soft X-ray laser

  • 摘要: 利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200 μg·cm-2,直径为20 mm的自支撑金属Zr滤光膜.用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软X射线和可见光波段的透射率,用俄歇电子能谱(AES)分析了膜中的元素含量.结果表明:Zr膜在13.9 nm波长的透射率达19%, 对可见光的抑制性能达43 dB.杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软X射线光谱透射率的主要因素.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-06-30

软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备及测量

  • 同济大学,精密光学工程技术研究所,上海200092

摘要: 利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200 μg·cm-2,直径为20 mm的自支撑金属Zr滤光膜.用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软X射线和可见光波段的透射率,用俄歇电子能谱(AES)分析了膜中的元素含量.结果表明:Zr膜在13.9 nm波长的透射率达19%, 对可见光的抑制性能达43 dB.杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软X射线光谱透射率的主要因素.

English Abstract

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