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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

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王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 邓红艳, 程新路, 唐永建. 2005: 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断, 强激光与粒子束, 17(10): 1513-1517.
引用本文: 王加扣, 吴卫东, 孙卫国, 邓红艳, 程新路, 唐永建. 2005: 螺旋波激发氢等离子体光谱诊断, 强激光与粒子束, 17(10): 1513-1517.
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WANG Jia-kou, WU Wei-dong, SUN Wei-guo, DENG Hong-yan, CHENG Xin-lu, TANG Yong-jian. 2005: Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave, High Power Lase and Particle Beams, 17(10): 1513-1517.
Citation: WANG Jia-kou, WU Wei-dong, SUN Wei-guo, DENG Hong-yan, CHENG Xin-lu, TANG Yong-jian. 2005: Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave, High Power Lase and Particle Beams, 17(10): 1513-1517.
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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,四川,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,四川,成都,610065

Spectroscopy diagnosis of hydrogen plasma excited by helicon-wave

  • 摘要: 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体.通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响.结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-10-30

螺旋波激发氢等离子体光谱诊断

  • 四川大学,原子与分子物理研究所,四川,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 四川大学,原子与分子物理研究所,四川,成都,610065

摘要: 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体.通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响.结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素.

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