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Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析

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何英杰, 吴卫东, 张超, 李俊, 许华, 程新路. 2005: Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析, 强激光与粒子束, 17(3): 381-385.
引用本文: 何英杰, 吴卫东, 张超, 李俊, 许华, 程新路. 2005: Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析, 强激光与粒子束, 17(3): 381-385.
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HE Ying-jie, WU Wei-dong, ZHANG Chao, LI Jun, XU Hua, CHENG Xin-lu. 2005: Fabrication and surface analysis of Fe/Al compound films, High Power Lase and Particle Beams, 17(3): 381-385.
Citation: HE Ying-jie, WU Wei-dong, ZHANG Chao, LI Jun, XU Hua, CHENG Xin-lu. 2005: Fabrication and surface analysis of Fe/Al compound films, High Power Lase and Particle Beams, 17(3): 381-385.
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Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析

  • 四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

  • 四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065

Fabrication and surface analysis of Fe/Al compound films

  • 摘要: 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析.结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬底温度的升高,薄膜的表面逐渐变得平滑,膜层变得致密,在200 ℃衬底温度下制得了均方根(rms)粗糙度为0.154 nm、具有原子尺度光滑性的Fe/Al混合膜, 膜中Fe和Al分布比较均匀,其成分比约为1∶3,同时XPS分析也表明Fe/Al混合膜暴露在空气中后表面形成了Al2O3和FeO氧化层.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-03-30

Fe/Al混合膜的PLD法制备及表面分析

  • 四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 四川大学,原子与分子物理所,四川,成都,610065

摘要: 采用脉冲激光气相沉积(PLD)技术制备了Fe/Al混合膜,测量了该混合膜的光电子能谱(XPS),并采用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对Fe/Al混合膜作了表面分析.结果表明:Fe/Al混合膜的表面粗糙度对衬底温度有明显的依赖性, 随着衬底温度的升高,薄膜的表面逐渐变得平滑,膜层变得致密,在200 ℃衬底温度下制得了均方根(rms)粗糙度为0.154 nm、具有原子尺度光滑性的Fe/Al混合膜, 膜中Fe和Al分布比较均匀,其成分比约为1∶3,同时XPS分析也表明Fe/Al混合膜暴露在空气中后表面形成了Al2O3和FeO氧化层.

English Abstract

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