60keV质子辐照对TiNi记忆合金薄膜马氏体相变的影响舷
Influence of 60keV proton irradiation on the transformation behavior of a TiNi shape memory alloy thin film
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摘要: 利用磁控溅射的方法在氧化后的单晶Si基片上制备了TiNi形状记忆合金薄膜,利用示差扫描量热法和原位X射线衍射研究了薄膜的马氏体相变特征.通过60keV质子注入(辐照)薄膜样品研究了H+离子对合金薄膜马氏体相变特征的影响,结果表明氢离子注入后引起了马氏体相变开始Ms和结束点Mf以及逆马氏体相变开始As和结束温度Ar的下降,而对R相变开始R,和结束温度Rr影响不大.掠入射X射线衍射表明H+离子注入后有氢化物形成.H+离子注入形成的氢化物是引起相变点的变化的主要因素.
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关键词:
- TiNi形状记忆合金薄膜 /
- H离子注入 /
- 马氏体相变 /
- 示差扫描量热仪 /
- X射线衍射
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