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能动反射镜低频像差补偿能力分析

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杨李成, 凌宁, 曾志革. 2004: 能动反射镜低频像差补偿能力分析, 强激光与粒子束, 16(7): 843-847.
引用本文: 杨李成, 凌宁, 曾志革. 2004: 能动反射镜低频像差补偿能力分析, 强激光与粒子束, 16(7): 843-847.
shu
2004: Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror, High Power Lase and Particle Beams, 16(7): 843-847.
Citation: 2004: Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror, High Power Lase and Particle Beams, 16(7): 843-847.
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能动反射镜低频像差补偿能力分析

  • 中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209

Analysis on compensating capabilities of the low frequency aberrations for active deformable mirror

  • 摘要: 采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-07-30

能动反射镜低频像差补偿能力分析

  • 中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209

摘要: 采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.

English Abstract

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