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1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试

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黄惠杰, 路敦武, 王润文, 赵永凯, 刘增水. 2000: 1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试, 强激光与粒子束, 12(1): 55-57.
引用本文: 黄惠杰, 路敦武, 王润文, 赵永凯, 刘增水. 2000: 1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试, 强激光与粒子束, 12(1): 55-57.
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HUANG Hui-jie, LU Dun-wu, WANG Run-wen, ZHAO Yong-kai, LIU Zeng-shui. 2000: FABRICATION AND PERFORMANCE MEASUREMENT OF A LARGE APERTURE RANDOM PHASE PLATE AT 1.06ΜM WAVELENGTH, High Power Lase and Particle Beams, 12(1): 55-57.
Citation: HUANG Hui-jie, LU Dun-wu, WANG Run-wen, ZHAO Yong-kai, LIU Zeng-shui. 2000: FABRICATION AND PERFORMANCE MEASUREMENT OF A LARGE APERTURE RANDOM PHASE PLATE AT 1.06ΜM WAVELENGTH, High Power Lase and Particle Beams, 12(1): 55-57.
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1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试

  • 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

FABRICATION AND PERFORMANCE MEASUREMENT OF A LARGE APERTURE RANDOM PHASE PLATE AT 1.06ΜM WAVELENGTH

  • 摘要: 利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为φ250mm的无规位相板.台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24%,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布.表明该工艺可适用于大口径无规位相板的制作.
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出版历程
  • 刊出日期:  2000-01-30

1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试

  • 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

摘要: 利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为φ250mm的无规位相板.台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24%,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布.表明该工艺可适用于大口径无规位相板的制作.

English Abstract

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