光波导短程透镜加工容限误差研究

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李杰, 朱京平. 2012: 光波导短程透镜加工容限误差研究, 物理学报, 61(24): 287-294.
引用本文: 李杰, 朱京平. 2012: 光波导短程透镜加工容限误差研究, 物理学报, 61(24): 287-294.
2012: Fabrication tolerances in four analytical designs of geodesic lenses, Acta Physica Sinica, 61(24): 287-294.
Citation: 2012: Fabrication tolerances in four analytical designs of geodesic lenses, Acta Physica Sinica, 61(24): 287-294.

光波导短程透镜加工容限误差研究

Fabrication tolerances in four analytical designs of geodesic lenses

  • 摘要: 本文利用数值计算的方法,研究比较了目前常用的四种解析解设计的短程透镜凹坑深度方向加工误差对其聚焦效果的影响,得到了该方向加工误差与其焦距改变量之间的定量关系.结果表明:这四种解析解设计的短程透镜凹坑深度相对加工误差△Zo/Zo与焦距的相对改变量Ab/b的比值为一常数.根据这一关系给出了几种典型集成光学器件中短程透镜的加工容限误差.上述研究可为高分辨率光学器件的设计、制作提供理论支持和指导.
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出版历程
  • 刊出日期:  2012-12-30

光波导短程透镜加工容限误差研究

  • 电子物理与器件教育部重点实验室,陕西省信息光子技术重点实验室,电信学院,西安交通大学,西安710049

摘要: 本文利用数值计算的方法,研究比较了目前常用的四种解析解设计的短程透镜凹坑深度方向加工误差对其聚焦效果的影响,得到了该方向加工误差与其焦距改变量之间的定量关系.结果表明:这四种解析解设计的短程透镜凹坑深度相对加工误差△Zo/Zo与焦距的相对改变量Ab/b的比值为一常数.根据这一关系给出了几种典型集成光学器件中短程透镜的加工容限误差.上述研究可为高分辨率光学器件的设计、制作提供理论支持和指导.

English Abstract

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