金刚石薄膜中二次电子输运的蒙特卡罗模拟

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李鹏, 许州, 黎明, 杨兴繁. 2012: 金刚石薄膜中二次电子输运的蒙特卡罗模拟, 物理学报, 61(7): 530-535.
引用本文: 李鹏, 许州, 黎明, 杨兴繁. 2012: 金刚石薄膜中二次电子输运的蒙特卡罗模拟, 物理学报, 61(7): 530-535.
2012: A Monte Carlo simulation of secondary electron transport in diamond, Acta Physica Sinica, 61(7): 530-535.
Citation: 2012: A Monte Carlo simulation of secondary electron transport in diamond, Acta Physica Sinica, 61(7): 530-535.

金刚石薄膜中二次电子输运的蒙特卡罗模拟

A Monte Carlo simulation of secondary electron transport in diamond

  • 摘要: 本文通过编写的二维MATLAB蒙特卡罗程序,对倍增的二次电子在金刚石薄膜中的输运特性进行了初步模拟.研究表明:二次电子的迁移率对温度和外加电场的大小很敏感,在杂质浓度比较低时(〈10~(17)/cm~(-3))受杂质浓度的影响不大.模拟得到的二次电子的饱和速度为1.88×10~7cm/s,无外加电场时的迁移率为3732 cm~2/V·s.同时,通过对二次电子束团在金刚石薄膜中的整体输运特性的模拟,证明了束团电荷密度在应用要求的范围内时,空间电荷力的影响可以忽略不计.
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出版历程

金刚石薄膜中二次电子输运的蒙特卡罗模拟

  • 中国工程物理研究院应用电子学研究所,绵阳,621900

摘要: 本文通过编写的二维MATLAB蒙特卡罗程序,对倍增的二次电子在金刚石薄膜中的输运特性进行了初步模拟.研究表明:二次电子的迁移率对温度和外加电场的大小很敏感,在杂质浓度比较低时(〈10~(17)/cm~(-3))受杂质浓度的影响不大.模拟得到的二次电子的饱和速度为1.88×10~7cm/s,无外加电场时的迁移率为3732 cm~2/V·s.同时,通过对二次电子束团在金刚石薄膜中的整体输运特性的模拟,证明了束团电荷密度在应用要求的范围内时,空间电荷力的影响可以忽略不计.

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