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真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响

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张增院, 郜小勇, 冯红亮, 马姣民, 卢景霄. 2011: 真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响, 物理学报, 60(3): 442-447.
引用本文: 张增院, 郜小勇, 冯红亮, 马姣民, 卢景霄. 2011: 真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响, 物理学报, 60(3): 442-447.
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Zhang Zeng-Yuan, Gao Xiao-Yong, Feng Hong-Liang, Ma Jiao-Min, Lu Jing-Xiao. 2011: Effect of vacuum thermal-annealing temperatures on the microstructure and optical properties of single-phased Ag2O film, Acta Physica Sinica, 60(3): 442-447.
Citation: Zhang Zeng-Yuan, Gao Xiao-Yong, Feng Hong-Liang, Ma Jiao-Min, Lu Jing-Xiao. 2011: Effect of vacuum thermal-annealing temperatures on the microstructure and optical properties of single-phased Ag2O film, Acta Physica Sinica, 60(3): 442-447.
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真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响

  • 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

Effect of vacuum thermal-annealing temperatures on the microstructure and optical properties of single-phased Ag2O film

  • 摘要: 利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1 h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O 薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为AG.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变.
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出版历程
  • 刊出日期:  2011-03-30

真空热退火温度对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响

  • 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

摘要: 利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1 h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O 薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为AG.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变.

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