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柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

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丁振峰, 袁国玉, 高巍, 孙景超. 2008: 柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究, 物理学报, 57(7): 4304-4315.
引用本文: 丁振峰, 袁国玉, 高巍, 孙景超. 2008: 柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究, 物理学报, 57(7): 4304-4315.
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2008: Experimental studies on the properties of the discharge modes in a cylindrical radio frequency inductively coupled plasma, Acta Physica Sinica, 57(7): 4304-4315.
Citation: 2008: Experimental studies on the properties of the discharge modes in a cylindrical radio frequency inductively coupled plasma, Acta Physica Sinica, 57(7): 4304-4315.
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柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

  • 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116023

Experimental studies on the properties of the discharge modes in a cylindrical radio frequency inductively coupled plasma

  • 摘要: 利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、人线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E-H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.山于阻抗匹配网络的影响,E-H模式的跳变电流并不是总大于H-E模式的跳变电流.在小同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2008-07-30

柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

  • 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116023

摘要: 利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、人线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E-H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.山于阻抗匹配网络的影响,E-H模式的跳变电流并不是总大于H-E模式的跳变电流.在小同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.

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