AlGaN/GaN肖特基结参数分析与电流运输机理研究
Analysis of structure parameters and current conduction mechanisms of AlGaN/GaN Schottky contacts
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摘要: 通过对AlGaN/GaN HEMT器件肖特基栅电流输运机理的研究,在变温下采用I-V法对AlGaN/GaN上的Ni/Au肖特基势垒高度和理想因子进行了计算.通过对不同电流机理的分立研究,得到了更为准确的势垒高度值鯾.通过分析温度在300-550K之间肖特基反向泄漏电流的特性,得出结论:AlGaN材料的表面漏电不是HEMT器件反向泄漏电流的主要来源.
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关键词:
- AlGaN/GaN异质结 /
- 肖特基结 /
- 理想因
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