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金属互连电迁移噪声的相关维数研究

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何亮, 杜磊, 庄奕琪, 陈春霞, 卫涛, 黄小君. 2007: 金属互连电迁移噪声的相关维数研究, 物理学报, 56(12): 7176-7182. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.061
引用本文: 何亮, 杜磊, 庄奕琪, 陈春霞, 卫涛, 黄小君. 2007: 金属互连电迁移噪声的相关维数研究, 物理学报, 56(12): 7176-7182. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.061
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He Liang, Du Lei, Zhuang Yi-Qi, Chen Chun-Xia, Wei Tao, Huang Xiao-Jun. 2007: Research on noise correlation dimension of metallic interconnection electromigration, Acta Physica Sinica, 56(12): 7176-7182. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.061
Citation: He Liang, Du Lei, Zhuang Yi-Qi, Chen Chun-Xia, Wei Tao, Huang Xiao-Jun. 2007: Research on noise correlation dimension of metallic interconnection electromigration, Acta Physica Sinica, 56(12): 7176-7182. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.061
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金属互连电迁移噪声的相关维数研究

  • 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071

  • 西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

Research on noise correlation dimension of metallic interconnection electromigration

  • 摘要: 针对金属铝互连中噪声信号随电迁移过程变化规律及其所反映的内部失效机理问题,提出将相关维数用于对电迁移噪声时间序列的分析.通过对互连电迁移噪声实验数据的相关维数计算,发现随着电迁移的进行,金属铝互连噪声由随机性成分占主导变为确定性成分占主导,反映出噪声由随机信号转变为混沌动力学信号.应用散射理论解释上述现象,在金属互连电迁移中,空位扩散阶段噪声主要产生机制是空位随机散射;在空位聚集到空洞成核这一过程中,噪声产生机制逐渐从随机散射转变到弹道混沌腔输运机制为主.通过与传统表征参量的对比,证明相关维数可用于预测金属互连的电迁移失效.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-12-30

金属互连电迁移噪声的相关维数研究

  • 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071
  • 西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

摘要: 针对金属铝互连中噪声信号随电迁移过程变化规律及其所反映的内部失效机理问题,提出将相关维数用于对电迁移噪声时间序列的分析.通过对互连电迁移噪声实验数据的相关维数计算,发现随着电迁移的进行,金属铝互连噪声由随机性成分占主导变为确定性成分占主导,反映出噪声由随机信号转变为混沌动力学信号.应用散射理论解释上述现象,在金属互连电迁移中,空位扩散阶段噪声主要产生机制是空位随机散射;在空位聚集到空洞成核这一过程中,噪声产生机制逐渐从随机散射转变到弹道混沌腔输运机制为主.通过与传统表征参量的对比,证明相关维数可用于预测金属互连的电迁移失效.

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