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体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

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汪渊, 宋忠孝, 徐可为. 2007: 体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射, 物理学报, 56(12): 7248-7254. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.073
引用本文: 汪渊, 宋忠孝, 徐可为. 2007: 体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射, 物理学报, 56(12): 7248-7254. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.073
shu
Wang Yuan, Song Zhong-Xiao, Xu Ke-Wei. 2007: The surface mapping and crystal orientation of body-centered cubic thin metal tungsten films of different thickness, Acta Physica Sinica, 56(12): 7248-7254. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.073
Citation: Wang Yuan, Song Zhong-Xiao, Xu Ke-Wei. 2007: The surface mapping and crystal orientation of body-centered cubic thin metal tungsten films of different thickness, Acta Physica Sinica, 56(12): 7248-7254. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.073
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体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

  • 四川大学原子核科学技术研究所,成都,610064

  • 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049

The surface mapping and crystal orientation of body-centered cubic thin metal tungsten films of different thickness

  • 摘要: 体心立方W膜(110)织构系数T110的变化存在非单调的厚度尺寸效应,这依赖于薄膜中晶粒形核和长大时表面能和应变能的相互作用,薄膜表面结构演变反映了两者的竞争过程.应用小波变换结合分形几何描述薄膜表面结构各向异性行为,用此法构建了薄膜织构系数T110与表面结构各向异性的关系,表明薄膜晶体取向存在表面映射.
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出版历程
  • 刊出日期:  2007-12-30

体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

  • 四川大学原子核科学技术研究所,成都,610064
  • 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049

摘要: 体心立方W膜(110)织构系数T110的变化存在非单调的厚度尺寸效应,这依赖于薄膜中晶粒形核和长大时表面能和应变能的相互作用,薄膜表面结构演变反映了两者的竞争过程.应用小波变换结合分形几何描述薄膜表面结构各向异性行为,用此法构建了薄膜织构系数T110与表面结构各向异性的关系,表明薄膜晶体取向存在表面映射.

English Abstract

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