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电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论

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金晓林, 杨中海. 2006: 电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论, 物理学报, 55(11): 5935-5941. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.059
引用本文: 金晓林, 杨中海. 2006: 电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论, 物理学报, 55(11): 5935-5941. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.059
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Jin Xiao-Lin, Yang Zhong-Hai. 2006: The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅱ )——Numerical simulation and discussion of results, Acta Physica Sinica, 55(11): 5935-5941. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.059
Citation: Jin Xiao-Lin, Yang Zhong-Hai. 2006: The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅱ )——Numerical simulation and discussion of results, Acta Physica Sinica, 55(11): 5935-5941. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.11.059
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电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论

  • 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

The PIC/MCC simulation of the ionization processes in electron cyclotron resonance discharge ( Ⅱ )——Numerical simulation and discussion of results

  • 摘要: 采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,应用电磁模型,编写了准三维的电子回旋共振(ECR)放电电离过程的模拟程序,得到了ECR放电过程中电子与离子的相空间分布、电磁场分布.通过对这些分布随时间演化的分析,得出ECR加热发生在ω≈ω∞且垂直于轴向的区域;ECR区域,微波能量几乎全部耦合给电子,获得能量的电子通过与中性粒子的电离碰撞产生了大量的带电粒子;随着放电的进行,大量带电粒子通过频繁的碰撞,分布由各向异性逐渐趋于各向同性.
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-11-30

电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论

  • 电子科技大学物理电子学院,成都,610054

摘要: 采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,应用电磁模型,编写了准三维的电子回旋共振(ECR)放电电离过程的模拟程序,得到了ECR放电过程中电子与离子的相空间分布、电磁场分布.通过对这些分布随时间演化的分析,得出ECR加热发生在ω≈ω∞且垂直于轴向的区域;ECR区域,微波能量几乎全部耦合给电子,获得能量的电子通过与中性粒子的电离碰撞产生了大量的带电粒子;随着放电的进行,大量带电粒子通过频繁的碰撞,分布由各向异性逐渐趋于各向同性.

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