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射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响

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李红轩, 徐洮, 陈建敏, 周惠娣, 刘惠文. 2005: 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响, 物理学报, 54(4): 1885-1889. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.075
引用本文: 李红轩, 徐洮, 陈建敏, 周惠娣, 刘惠文. 2005: 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响, 物理学报, 54(4): 1885-1889. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.075
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LI Hong-xuan, Xu Tao, Chen Jian-Min, ZHOU Hui-di, LIU Hui-wen. 2005: Effect of RF power on the structure and properties of diamond-like carbon films, Acta Physica Sinica, 54(4): 1885-1889. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.075
Citation: LI Hong-xuan, Xu Tao, Chen Jian-Min, ZHOU Hui-di, LIU Hui-wen. 2005: Effect of RF power on the structure and properties of diamond-like carbon films, Acta Physica Sinica, 54(4): 1885-1889. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.075
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射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响

  • 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

Effect of RF power on the structure and properties of diamond-like carbon films

  • 摘要: 利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman光谱、x射线光电子能谱、红外光谱和纳米压痕仪考察了射频功率对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、硬度和弹性模量的影响.结果表明,制备的薄膜具有典型的含H类金刚石结构特征,薄膜致密均匀,表面粗糙度很小.随着射频功率的升高,薄膜中成键H的含量逐渐降低,而薄膜的sp3含量、硬度以及弹性模量先升高,后降低,并在射频功率为100W时达到最大.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-04-30

射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响

  • 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州,730000

摘要: 利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman光谱、x射线光电子能谱、红外光谱和纳米压痕仪考察了射频功率对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、硬度和弹性模量的影响.结果表明,制备的薄膜具有典型的含H类金刚石结构特征,薄膜致密均匀,表面粗糙度很小.随着射频功率的升高,薄膜中成键H的含量逐渐降低,而薄膜的sp3含量、硬度以及弹性模量先升高,后降低,并在射频功率为100W时达到最大.

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