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热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

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宋永梁, 季振国, 刘坤, 王超, 向因, 叶志镇. 2004: 热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响, 物理学报, 53(2): 636-639. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057
引用本文: 宋永梁, 季振国, 刘坤, 王超, 向因, 叶志镇. 2004: 热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响, 物理学报, 53(2): 636-639. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057
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2004: Influences of processing parameters on the properties of ZnO thin films prepared by sol-gel spin-coating, Acta Physica Sinica, 53(2): 636-639. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057
Citation: 2004: Influences of processing parameters on the properties of ZnO thin films prepared by sol-gel spin-coating, Acta Physica Sinica, 53(2): 636-639. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057
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热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

  • 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027

Influences of processing parameters on the properties of ZnO thin films prepared by sol-gel spin-coating

  • 摘要: 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,而可见波段的发射很弱;当热处理温度高于550℃时,可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会导致晶粒发生团聚,导致紫外发射峰强度减弱.
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出版历程
  • 刊出日期:  2004-02-28

热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

  • 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027

摘要: 采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,而可见波段的发射很弱;当热处理温度高于550℃时,可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会导致晶粒发生团聚,导致紫外发射峰强度减弱.

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