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Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响

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杨仕娥, 姚宁, 王小平, 李会军, 马丙现, 秦广雍, 张兵临. 2002: Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响, 物理学报, 51(2): 347-350. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.027
引用本文: 杨仕娥, 姚宁, 王小平, 李会军, 马丙现, 秦广雍, 张兵临. 2002: Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响, 物理学报, 51(2): 347-350. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.027
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2002: Effect of Mo ion-implantation on the adhesion of diamond coatings, Acta Physica Sinica, 51(2): 347-350. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.027
Citation: 2002: Effect of Mo ion-implantation on the adhesion of diamond coatings, Acta Physica Sinica, 51(2): 347-350. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.027
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Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响

  • 郑州大学物理工程学院,郑州,450052

Effect of Mo ion-implantation on the adhesion of diamond coatings

  • 摘要: 采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-02-28

Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响

  • 郑州大学物理工程学院,郑州,450052

摘要: 采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.

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