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反应溅射法制备TiO2薄膜

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赵坤, 朱凤, 王莉芳, 孟铁军, 张保澄, 赵夔. 2001: 反应溅射法制备TiO2薄膜, 物理学报, 50(7): 1390-1395. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.037
引用本文: 赵坤, 朱凤, 王莉芳, 孟铁军, 张保澄, 赵夔. 2001: 反应溅射法制备TiO2薄膜, 物理学报, 50(7): 1390-1395. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.037
shu
2001: Cinvestigations of TiO2 Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering, Acta Physica Sinica, 50(7): 1390-1395. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.037
Citation: 2001: Cinvestigations of TiO2 Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering, Acta Physica Sinica, 50(7): 1390-1395. doi: 10.3321/j.issn:1000-3290.2001.07.037
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反应溅射法制备TiO2薄膜

  • 北京大学重离子研究所,北京 100871

Cinvestigations of TiO2 Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering

  • 摘要: 报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.
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出版历程

反应溅射法制备TiO2薄膜

  • 北京大学重离子研究所,北京 100871

摘要: 报道了用反应溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响.制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.

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