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退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

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田光磊, 黄建兵, 贺洪波, 邵建达. 2005: 退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响, 强激光与粒子束, 17(2): 217-221.
引用本文: 田光磊, 黄建兵, 贺洪波, 邵建达. 2005: 退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响, 强激光与粒子束, 17(2): 217-221.
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TIAN Guang-lei, HUANG Jian-bing, HE Hong-bo, SHAO Jian-da. 2005: Effect of annealing on microstructure and laser-induced damage threshold of ZrO2 Coatings, High Power Lase and Particle Beams, 17(2): 217-221.
Citation: TIAN Guang-lei, HUANG Jian-bing, HE Hong-bo, SHAO Jian-da. 2005: Effect of annealing on microstructure and laser-induced damage threshold of ZrO2 Coatings, High Power Lase and Particle Beams, 17(2): 217-221.
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退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,薄膜中心,上海,201800

Effect of annealing on microstructure and laser-induced damage threshold of ZrO2 Coatings

  • 摘要: 利用电子束蒸发方法在Yb:YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层ZrO2薄膜,分别在673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后,通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜晶相,计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收;测量了退火后薄膜的激光损伤阈值.实验结果表明:两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响,高温退火有利于单斜相的形成,含单斜相的ZrO2薄膜具有较高的激光损伤阈值,而由于衬底的吸收,Yb:YAG晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值.
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出版历程
  • 刊出日期:  2005-02-28

退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响

  • 中国科学院,上海光学精密机械研究所,薄膜中心,上海,201800

摘要: 利用电子束蒸发方法在Yb:YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层ZrO2薄膜,分别在673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后,通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜晶相,计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收;测量了退火后薄膜的激光损伤阈值.实验结果表明:两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响,高温退火有利于单斜相的形成,含单斜相的ZrO2薄膜具有较高的激光损伤阈值,而由于衬底的吸收,Yb:YAG晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值.

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